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微纳器件与系统研究室
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
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湖北省有机氟类药物工程技术研究中心
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武汉大学药学院有机氟类药物工程技术研究中心
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北京理工大学微纳技术中心
北京市房山区高教园北京理工大学理学楼C座二层 尹老师 熊老师 81381202 81381200 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学中心教学楼601室 任老师
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非硅微纳制造工业和信息化部重点实验室
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微纳光子结构教育部重点实验室
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微纳制造与测量技术教育部工程中心
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四川大学纳光子技术研究所
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微纳电子系统集成研究中心
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宁波市无机微纳功能材料及应用重点实验室
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